1992年3月
新华社全文播发“为改革开放保驾护航”
———————
全彩会议室
今天开会来的人特别全，因为🅩公🙱🎎司到了一个新的节点。
在会议桌中央，摆放着几块104寸的tft-lc🐇♚🈻d样品。这几块样品，是🎭🔕🀟用产线设备跑出来的。lcd生产线，🂨👗🉀终于彻底跑通了一次。
当然了，这个跑通，不等于马上就能投产。因为还有产品质量🖞📱问题，良率问🌂题。但剩下的🈔♧事情相对就好办了，大家慢慢磨时间吧。
样品给骆师姐送去了吗？”
送💏🐹去了，她们的电路板已经准备得差不多了，估计过两天，成品就会送回来。”
会议室的🖚📋🙏众人👬，🎳🕇都对第一块可以显示图案的lcd成品，期盼着。
———————
会议的重点，永远都是良率问题。
odf工序，被引入以后，按理说tft-lcd的良率，不应该有什么问题了。剩下的都是很普通的半导体加工工序😔。
光电虽然没有晶圆的生产经验，🙱🎎但🀺🁷led的生产经验不算少了。但实际情况，并非如此，lcd的尺寸，实在🖥🔭🃴是太大了。
小成⛤🜚🂱，你那💗👽🎒边的五次光刻技术，是否成熟了？”
王青山🖵🖺是产线调试的技术负责人，从现在开始，产率，良率的问题，主要就是他的☎事🅇情了。
怎么了？”
产品的🖵🖺良率不足，也跟现在tft的加工工序次数过多有关系。”
tft的加工工艺，与🀨晶圆没有原理上的本质区别。每一次光刻，成膜，清洗，涂光阻胶，曝光，显影，烘干，蚀刻，去光阻胶，检查，都要走一遍。
目前的tft加工工艺，采用的是七次光刻的🈙⚕工🎧艺。也就是基板需要通过七次光刻，才能完成加工。
而在晶圆芯片的加工过程中，🅩几十🀺🁷次的光刻，是最少的了。这也是为什么晶圆厂的成品率很难提📭高的缘故。步骤越多，总成品率就越低。
小成，如🖚📋🙏果你有好的技🀨术，就赶紧🀺🁷拿出来吧。”